低成本更快脉冲功能的安捷伦参数分析仪

安捷伦科技(Agilent Technologies Inc.)近期推出Agilent B1500A半导体元件分析仪适用的电源量测模块(SMU)以及软件增强功能。

新发表的Agilent B1514A 50-µs SMU可在30V/1A的电压电流范围内，提供更快的脉冲，以及示波器的显示画面。而新的Agilent B1511B经济型中功率SMU模块具有0.1 fA低电流量测功能，并提供选配的自动感测切换单元。新版EasyEXPERT 5.5软件支持手动操作外，另亦提供超过300个现成的应用测试功能，让工程师无需进行复杂的程序设计，便可轻松执行远程测试。

Agilent　B1500A适用的电源量测模块(SMU)以及软件增强功能，领先同业提供更低成本、更快脉冲功能。

自1980年代初期推出全球第一台数码参数分析仪后，安捷伦就始终如一地提供无可比拟的参数测试效能和价值。为贯彻此一优良传统，新的Agilent B1500A支持丰富多样的电压电流(IV)特性分析(0.1fA ~ 1A / 0.5µV ~ 200V)、电容量测(1 kHz ~ 5 MHz)，以及低至ns的超快脉冲／瞬时IV量测。 适用于Agilent B1500A半导体元件分析仪的增强功能包括如下：

1. Agilent B1514A 50 µs SMU支持快速的脉冲量测，使得B1500A增强型分析仪能够执行脉冲宽度仅50 µs的量测脉冲，比同级的传统型SMU提供之脉冲量测宽度窄了10倍以上。此外，该分析仪支持高达30V/1A的量测范围和更广泛的通用性，并具备电压电流程序设计能力。它还提供描述先进材料与元件特性时不可或缺的脉冲式电流电压量测功能。

工程师可透过适用于Agilent B1514A的EasyEXPERT示波器检视画面，监测实际的电压与电流波形。有了这项功能，工程师可安心地验证脉冲量测设定，并且快速轻松地调整最佳参数。

2. 工程师可使用新的Agilent B1511B中功率SMU和自动感测切换单元，以经济有效的方式量测低至0.1 fA的电流，以便执行准确的低电流特性分析，例如漏电流等，进而加速研发新一代装置。

3. Agilent EasyEXPERT 5.5软件可协助工程师轻松描述元件特性。更新版软件提供远程程控功能，可执行内建的应用测试。它还具备可用来控制切换矩阵的图形操作接口(GUI)，以及扩充后的应用程序库，并提供B1514A 50 µs脉冲中电流SMU适用的示波器检视画面。EasyEXPERT软件可在Windows 7平台上运行。利用直觉式GUI，工程师可执行高效率且可重复的装置特性分析，包括从交互式手动量测，一直到半自动晶圆测试等各种测试。

有了新的B1514A和B1511B SMU模块以及增强版EasyEXPERT软件，Agilent B1500A半导体参数分析仪可提供完整的元件特性分析解决方案，加上广泛的通用性、无与伦比的量测可靠性，以及高效率、高度稳定的量测结果。B1500A另提供参数测试必备的所有最新量测功能，以便对装置、材料、半导体、主动／被动元件，或任何其它类型的电子装置，进行特性分析和评估。