超越摩尔定律的新技术MEMS

时间：11-29 来源：半导体国际作者：王志华点击：

场会做出选择，如果有些不适合产业化，就会"慢慢死"。TSMC的刘信生表示，MEMS的发展离不开CMOS，对于MEMS产品，不仅要在实验室获得成果，更重要的是在市场上实现规模化并获得利润，与标准CMOS工艺的融合则是助其成功的最大利器。

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