基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计
时间:11-03
来源:EDN
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对于悬臂梁结构的硅微型加速度传感器,在其它结构尺寸相同的情况下,梁的厚度对加速度传感器的灵敏度影响最大,基本上是反比的关系。这是由于在同样的载荷下,梁厚与应力大小成反比,而应力大小直接影响灵敏度,应力越大灵敏度越高。由于加工出芯片梁的厚度比设计值偏差较大,故其测试灵敏度比设计值小,如表3所示。
在质量块尺寸一定的情况下,梁的长度与灵敏度成正比,梁的宽度与灵敏度成反比。在梁的尺寸一定情况下,质量块的质量与灵敏度成正比。
6 结束语
对制作的加速度传感器样品,在马希特击锤上进行了大量地冲击标定测试,测试结果表明:设计和加工制作的加速度计样品在进行加速度的冲击时,有较好的信号输出,单臂梁结构的加速度计的灵敏度为1 μV/gn;双臂梁结构的加速度计的灵敏度为1.6μV/gn,与理论设计值基本吻合。
编辑:博子
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