基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源

最后，给出驱动电源电压线性度曲线。线性度能够真实的反映出输出值相对于输入真值的偏差程度。线性度曲线如图11所示。得到拟合直线Yfit=9．846Vin+0．0242，最大非线性误差为0．024％，能够满足精密定位需求。

5 结论
本文设计的基于ARM的高分辨率压电陶瓷驱动电源采用直流放大原理，具有低电路噪声、高分辨率和低输出非线性度等特性，同时驱动电源的带宽可达100 kHz。以上特性使本文设计的压电驱动电源能够应用于纳米级静态定位的需求，由于其性价比高、结构简单，故具有很高的实用价值。