一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现

显示出方波峰峰值。在我们实际设计的仪器中，显示的Vout测量值与空载时的输出值误差不超过±0.5V。证明在测量电压值要求不是很精确的情况下，这种方案是方便可行的。

3.4 主控平台和显示部分

从总体来看，产生信号的部分和最终信号幅值测量显示部分是各自独立分开的，由两个AT89C2051分别完成形成一个简单的分布式结构。这样的结构提高了整个软件部分的稳定性。

主控平台由第一个AT89C2051来完成，直接控制方波信号的产生，而且还包括方波信号的频率、占空比的设置和显示，提供友好的人机接口。

对于输出的信号，应该给用户尽量直观的结果， 在主控平台提供频率和占空比显示的同时，还应使用户直观准确地知道输出信号幅值，这样在用户没有第三方的测量仪器的情况下，对仪器操作非常方便和精确。这部分的工作就由第二个 AT89C2051和A/D转换器AD0804配合完成。

单片机核心部分源程序如下：
… …
//generate pulse signal
//period= the period of pulse signal
//positive=the length of positive voltage
timer0() interrupt 1 using 1 {
unsigned int temp;
out=1; //output VOH
temp=65535-period;
TL0=temp; //set value for timer0
TH0=temp>>8;
temp=65535-positive;
TL1=temp; //set value for timer1
TH1=temp>>8;
TR1=1;
TR0=1; //start timer1, 0
}
timer1() interrupt 3 using 2 {
out=0; //timer1记满,output VOL
TR1=0; //stop timer1
}
…
4 结语

测量悬臂和扭臂驱动的光开关的驱动电压是在制作微机械光开关过程中比较繁琐的程序，本测量平台采用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与传统方法相比，具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等优点。本测量平台经过吉林大学集成 光电子学国家重点联合实验室近半年的使用，系统稳定，效果良好，是一种省时高效的测量方法。