基于MEMS工艺的八角形前腔 亚毫米波集成喇叭天线

通过上文对集成喇叭天线在900GHz频段的有限元法分析，可以看出，我们提出的基于MEMS工艺的新型八角形前腔集成喇叭天线，能够很好的改善平面集成天线的辐射特性。喇叭天线的可控参数包括背腔高度ha、喇叭前腔张角θ、喇叭前腔长度l、喇叭前腔干法刻蚀深度t_dry以及喇叭前腔湿法腐蚀深度t_wet，通过综合优化这些参数，我们可以设计出符合设计应用的集成喇叭天线。平面集成天线的形式也不局限于采用偶极子天线，可以通过采用其他形式的平面集成天线来实现合适的带宽、极化等性能。进一步的研究中，可以将集成喇叭天线组成阵列。