薄膜体声波谐振器及其应用

振荡器等这样高性能小体积的微波器件，而且已经研究如何将FBAR和低噪声功率放大器(LNA)等有源器件进行集成，从而研制出更高性能和更小体积的射频系统。

6、结语

FBAR技术涉及到声波器件、材料、电磁场、微波网络、信号、IC制造工艺和无线通信应用等众多学科，是一个全新多学科交叉的研究领域，但在微加工技术日益成熟和巨大的市场需求条件下，FBAR已经成为射频器件中最活跃的研究领域，当前世界许多国家都在积极研究FBAR技术，期望有助于实现射频系统的集成化、微型化和低成本。目前，FBAR的研究取得了一些突破，特别是在第二代移动通信领域取得了一些应用，但要真正满足无线通信的发展，FBAR技术还有很多问题有待探索和解决。

作者：池志鹏，赵正平，吕苗，杨瑞霞

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