用差频电路实现微电容式传感器检测电路的温漂抑制

4 结束语

通过SPICE仿真，可以看出，改进后的电路结构满足了提出的各项目标。由于该电路是用频率的变化反映敏感电容的变化，具有准数字输出的特点，只要用一个计数功能的单片机，即可实现信号的采集。

工艺的波动会对电路的电容-频率转换特性产生影响，从而引起流片结果个体间的差异。因此，必须对每个传感器分别定标，这样，工艺的波动才不会使单个传感器产生偏差。