MEMS传感器概念、分类等基础知识详解

片中，以麦克风为例我们来更清晰地认识一下传统麦克风和MEMS麦克风的区别。

传统的驻极体麦克风：

MEMS麦克风：

图中，传统麦克风的七八种机械配件就全部集成在了一块很小的MEMS传感器芯片上了，体积非常小，重量也非常轻。由于是芯片制造，一致性好、功耗低，更易于批量生产。但是对技术的要求那就非常高了。MEMS传感器的出现极大的满足了大家对产品小体积、高性能的要求。

MEMS传感器的分类

MEMS传感器不仅能够感知被测参数，将其转换成方便度量的信号；而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断，因此形象地被称为智能传感器。

MEMS传感器的种类繁多，也有很多分类的方法。下面是按照工作原理分类：

每一种MEMS传感器又有很多种细分方法。如加速度计，按检测质量的运动方式划分，有角振动式和线振动式加速度计等，常见的MEMS传感器有压力传感器、加速度传感器、微机械陀螺仪、惯性传感器、MEMS硅麦克风等等;MEMS传感器的品种多到可以以万为单位，且不同MEMS之间参量较多，没有完全标准的工艺。