探讨未来传感器的发展方向

）、外延、扩散、腐蚀、光刻等，迄今已有很多选用上述技能制成的传感器的国内外报导。

　　5、智能资料

　　智能资料是指规划和操控资料的物理、化学、机械、电学等参数，研发出生物体资料所具有的特性或许优于生物体资料功用的人工资料。有人以为，具有下述功用的资料可称之为智能资料：具有对环境的判别可自适应功用；具有自确诊功用；具有自修正功用；具有自增强功用（或称时基功用）。

　　生物体资料的最突出特色是具有时基功用，因此这种传感器特性是微分型的，它对变分有些对比灵敏。反之，长时间处于某一环境并习惯了此环境，则活络度降低。通常说来，它能适应环境调理其活络度。除了生物体资料外，最有目共睹的智能资料是形状回忆合金、形状回忆陶瓷和形状回忆聚合物。智能资料的探究作业刚刚开始，信任不久的将来会有很大的开展。