探讨未来传感器的发展方向

　　1、开发新式传感器

　　新式传感器，大致应包含：①选用新原理；②添补传感器空白；③仿生传感器等诸方面。它们之间是互相联络的。传感器的作业机理是根据各种效应和规律，由此启示大家进一步探究具有新效应的灵敏功用资料，并以此研发出具有新原理的新式物性型传感器材，这是开展高功用、多功用、低成本和小型化传感器的主要途径。构造型传感器开展得较早，现在日趋老练。构造型传感器，通常说它的构造杂乱，体积偏大，报价偏高。物性型传感器大致与之相反，具有不少诱人的长处，加之曩昔开展也不行。世界各国都在物性型传感器方面投入很多人力、物力加强研究，从而使它变成一个值得注意的开展意向。其中运用量子力学诸效应研发的低活络阈传感器，用来检查弱小的信号，是开展新意向之一。

　　2、集成化、多功用化、智能化

　　传感器集成化包含两种界说，一是同一功用的多元件并排化，行将同一类型的单个传感元件用集成技能在同一平面上摆放起来，排成1维的为线性传感器，CCD图象传感器就归于这种状况。集成化的另一个界说是多功用一体化，行将传感器与放大、运算以及温度抵偿等环节一体化，组装成一个器材。

　　跟着集成化技能的开展，各类混合集成和单片集成式压力传感器相继呈现，有的已经变成产品。集成化压力传感器有压阻式、电容式、等类型，其中压阻式集成化传感器开展快、使用广。

　　传感器的多功用化也是其开展方向之一。所谓多功用化的典型实例，美国某大学传感器研究开展基地研发的单片硅多维力传感器能够一起丈量3个线速度、3个离心加速度（角速度）和3个角加速度。主要元件是由4个准确规划安装在一个基板上的悬臂梁构成的单片硅构造，9个准确布置在各个悬臂梁上的压阻灵敏元件。多功用化不只能够降低出产成本，减小体积，并且能够有效的前进传感器的稳定性、可靠性等功用指标。

　　把多个功用不一样的传感元件集成在一起，除可一起进行多种参数的丈量外，还可对这些参数的丈量成果进行归纳处理和评估，可反映出被测体系的全体状况。由上还能够看出，集成化对固态传感器带来了很多新的时机，一起它也是多功用化的根底。

　　传感器与微处理机相结合，使之不只具有检查功用，还具有信息处理、逻辑判别、自确诊、以及"思想"等人工智能，就称之为传感器的智能化。借助于半导体集成化技能把传感器有些与信号预处理电路、输入输出接口、微处理器等制造在同一块芯片上，即变成大规模集成智能传感器。能够说智能传感器是传感器技能与大规模集成电路技能相结合的产品，它的实现将取决于传感技能与半导体集成化技能水平的前进与开展。这类传感器具有多能、高功用、体积小、适合大批量出产和运用方便等长处，能够肯定地说，是传感器主要的方向之一。

　　3、新资料开发

　　传感器资料是传感器技能的主要根底，是传感器技能晋级的主要支持。跟着资料科学的前进，传感器技能日臻老练，其品种不断增加，除了早期运用的半导体资料、陶瓷资料以外，光导纤维以及超导资料的开发，为传感器的开展供给了物质根底。例如，根据以硅为基体的很多半导体资料易于微型化、集成化、多功用化、智能化，以及半导体光热探测器具有活络度高、精度高、非触摸性等特色，开展红外传感器、激光传感器、光纤传感器等现代传感器；在灵敏资猜中，陶瓷资料、有机资料开展很快，可选用不一样的配方混合质料，在精细分配化学成分的根底上，通过高精度成型烧结，得到对某一种或某几种气体具有辨认功用的灵敏资料，用于制成新式气体传感器。此外，高分子有机灵敏资料，是近几年大家极为重视的具有使用潜力的新式灵敏资料，可制成热敏、光敏、气敏、湿敏、力敏、离子敏和生物敏等传感器。传感器技能的不断开展，也促进了更新式资料的开发，如纳米资料等。美国NRC公司已开发出纳米ZrO2气体传感器，操控机动车辆尾气的排放，对净化环境作用极好，使用远景对比广阔。因为选用纳米资料制造的传感器，具有庞大的界面，能供给很多的气体通道，并且导通电阻很小，有利于传感器向微型化开展，跟着科学技能的不断前进将有更多的新式资料诞生。

　　4、新技能的选用

在开展新式传感器中，离不开新技能的选用。新技能的意义规模很广，这儿主要指与开展新式传感器联络格外亲近的微细加工技能。该技能又称微机械加工技能，是这些年跟着集成电路技能开展起来的，它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技能，现在已不断增加地用于传感器范畴，例如溅射、蒸镀、等离子体刻蚀、化学气体淀积（CVD