三毫米单片集成电路噪声系数测量技术

2 测量不确定度的分析
噪声系数测量不确定度不仅取决于噪声系数分析仪的准确度，而且与被测件的噪声系数和增益的大小有关，如图6所示。

同时考虑失配的因素，采用如下计算公式：
式中：

根据上述公式，以94 GHz MMIC放大器为例，计算UB。
噪声系数NF1(dB)=3．43 dB，F1=2．203，
增益G1(dB)=13．46(dB)，G1=22．182，|


3 mm接收机噪声系数NF2(dB)=4．85 dB，F2=3．054 9，
驻波比为1．12，ρ=0．056 6，
噪声源输出驻波比为1．13，ρ=0．061 0，
F12=F1十(F2-1)／G1=3．608 9。
计算下述各量：

从噪声系数分析仪技术指标可知：δNF=0．1 dB，δG=0．15 dB。
根据失配不确定度公式：±20log(1+ρsρl)计算出各失配不确定度：


根据式(7)计算出噪声系数测量不确定度为0．28 dB。

4 结束语
本文只介绍了92～97 GHz频率范围的低噪声单片集成电路裸片噪声系数的测量，实际上本系统可以用于75～110 GHz频率范围内的噪声系数的测量。目前正在本系统上做3 mm噪声源校准技术的研究。