TFT-LCD光阻回收再利用技术

时间：08-20 来源：液晶之家点击：

再生光阻No.1

264

229

158

再生光阻No.2

158

144

101

再生光阻之特性及其经涂布后所得之膜厚结果如表三。由表中可知两种再生光阻的黏度与密度与原生光阻相近，而固含量则略高于原生光阻。光阻涂布后其膜厚与黏度及固含量有关，当黏度或固含量较高时其膜厚将偏厚，反之则偏薄。由于两种再生光阻黏度及固含量皆略高于原生光阻，故其膜厚亦较厚于原生光阻之膜厚。

	膜厚(Å)	黏度(cps)	密度(g/mL)	固含量(g/mL)
原生光阻	11004	15.28	0.99	0.31
再生光阻No.1	12265	15.56	1.01	0.37
再生光阻No.2	11301	15.12	1.01	0.33 再生光阻之曝光、显影及蚀刻结果如图二，显影图形在线宽及均匀度上均符合规格，而再生光阻亦具抗蚀刻之效果，由图形中可看出蚀刻后图形完整且符合制程规格。三、结语废光阻经本中心回收再生后由电子所验证结果证明再生光阻具有与原生光阻相近之特性，其涂布膜厚、曝光显影及蚀刻之验证测试结果皆与制程规格相符。本中心将持续进行再生光阻最适化研究，并研拟设计一套光阻剂在线自动回收系统，除了可提高光阻剂的有效使用率，降低制作成本外，亦可减少废液生成，为一兼顾产业经济与环境保护之清洁生产技术。

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