透过亦庄的芯片行业水平，看中国芯势力

时保量地完成国产设备的推进，中芯国际北京厂所有员工的工作强度和心理压力都非常大，但大家勇挑这副重担。为了高效率正规化地推进，中芯国际北京厂先后成立《国产设备委员会》，《国产材料委员会》，以及《国产零部件委员会》，统筹国产装备，材料，以及零部件的验证和采购工作。

2014年，中芯国际北京厂进入生产设备的中试阶段。由于生产的晶圆就是交给市场的集成电路芯片，将装载在成百上千万部手机、电视、摄像监控器、机顶盒、路由器等电子系统上，影响着客户的体验和中芯国际的名誉，工厂投入了巨大的资源与国产设备企业一起进行攻关，协同解决问题，缩小与世界先进水平的差距。共召开会议2500多次，软硬件改善1300多次，工艺流程改善方案158次，申请专利700多项……我国的设备企业通过在北京大生产线上进行验证，其量产技术与服务保障逐步达到国际水平，为其进一步开拓国际市场打下了坚实的基础。

2015年，中芯国际北京厂国产化生产设备进入了晶圆产品量产阶段，新增国产设备主机台及附属机台数百台，包括中微电子的干法刻蚀机；北方微电子的物理气相淀积设备、干法刻蚀机、及单片退火炉设备；七星华创的单片清洗机和立式氧化炉设备；中科信的中束流离子注入机设备；沈阳拓荆的化学气相淀积设备；京仪自动化的分片机设备；北京屹唐玛特森的刻蚀机设备；华海清科的化学机械研磨设备；以及沈阳科仪的中控泵等。这些国产设备出色地通过了90纳米-28纳米技术节点的大生产线验证，与进口设备肩并肩满负荷生产。

中芯国际北京厂在国产设备及材料应用方面取得的阶段性进展，是中芯国际集团公司对国内集成电路产业链企业支持的一个缩影。未来，中芯国际将持续努力，为打造中国集成电路产业生态链建设，进而为中国半导体产业发展做出贡献。