华虹超级结工艺出货创新高，靠的是啥独特技术

全球领先的200mm纯晶圆代工厂──华虹半导体有限公司（「华虹半导体」或「公司」，连同其附属公司，统称「集团」，股份代号：1347.HK）宣布，其先进的Super Junction（超级结结构）MOSFET（「SJNFET」）工艺平台累计出货量首次突破10万片，得益于市场对超级结MOSFET的强劲需求。该平台自2011年量产以来，通过与客户在设计优化、系统解决方案及市场渗透等方面的携手努力，出货量逐年递增。

绿色发展是中国政府「十三五」规划最具特色的发展理念之一，将成为推动经济持续增长的新动力。高效节能绿色产品的普及将促进绿色能源技术更广泛的应用。作为开关电源、马达驱动、LED驱动、新能源汽车和智能电网等电源系统的核心器件，功率半导体是降低功耗、提高效率的关键。华虹半导体拥有独特的、富有竞争力的的沟槽型SJNFET工艺平台，可以支持500V至900V不同电压等级的产品生产。其中先进的第二代SJNFET技术已实现量产，器件性能达到业界一流水平。具有更低导通电阻和更小芯片面积的第二代优化版SJNFET工艺平台研发成功，现已面向客户开放。

超级结结构打破了传统MOSFET器件导通电阻与击穿电压的极限关系，在同样的封装条件下能够实现更低的导通阻抗和更快的开关频率，可以大幅改善功率器件的性能。与传统的多层外延型SJNFET工艺相比，沟槽型结构具有光刻层次少、结构简单、高温特性好、制造周期短和性能提升潜力大等优点。

作为业界首家提供超级结工艺平台的晶圆代工企业，华虹半导体并不止步于此，而是不断创新升级，追求更低的导通电阻，更快的开关速度、更低的开关损耗、更小的芯片面积、更强的雪崩短路耐量和抗电磁干扰能力。今年计划推出具备更先进性能的新一代SJNFET工艺平台，进一步巩固公司在功率分立器件领域的领先地位。

华虹半导体执行副总裁孔蔚然博士表示：「华虹半导体已在功率器件领域细心耕耘十余载，SJNFET芯片累计出货量超过10万片是一个里程碑，真正践行了打造『中国芯』的大企业责任。随着『绿色时代』的到来，功率半导体将拓展到消费类、工业类及汽车类等更多的应用领域，市场潜力巨大。而对高压半导体解决方案需求的不断增加，将使华虹半导体独特的SJNFET技术受益匪浅。因此，我们正在进一步扩充超级结产品的产能，以满足日益增长的客户需求。」