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做过trim的请帮忙~~

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
最近要出一个片子,希望用trim保证电流精度,第一次做,没有经验,我的想法和问题是:
1、trim PAD大约要开到多大呢,可不可以取小于90×90?毕竟是用在CP阶段
2、我用的是40V工艺,process M1 0.6um,M2 0.7um,选用M1 0.6uml,连线长度按照50um估算,中间走线大于3个拐角,估算连线电阻大约在3、4欧姆,CP阶段加5V电压,给200mS熔断时间。这样考虑有没有问题?
3、window是不是一定要开,如果开的话一般要开到多大呢?
4、还有没有其它需要注意的问题?
请做过TRIM的来帮忙解答一下,没做过的就不要乱说了,会误导的,呵呵,谢谢大家~~

你要说明一下你的trim的对象,有poly,metal,方式有 efuse 有laser
不过看样子你是efuse. metal trim。
1,pad大小无所谓,和普通的一样大小就行了,前提是你的efuse电流要设计的适中。
2,这个问题你可以参考 fab的pdk,里面有金属的最大安全电流与尺寸的关系,要大于这个安全电流的值6-10倍以上,熔断时间一般电流越大,时间越短,你没有提供你的电流值,所以时间很难说。
3,一定要开窗口,不然很有可能无法trim。开窗口一定要注意,从底层开到最上层,和pad的孔一样。开窗口的大小一定要注意,不能太小,太小了,气化的金属无法散开,有可能再次短路,所以你的金属一定要做的细长,我见过有做过efuse的金属或者poly再次生长到一块的例子。另外,顶层不要有钝化层。好运

非常感谢,谢谢您的回复~~
efuse. metal trim ,M1最大电流密度 0.8mA/um,按照连线电阻在3、4欧姆,CP阶段加5V电压来算的话,电路应该在1A~2A之间,会不会电流过大产生其它问题呢?
trimPAD只是用来打探针,是不是可以做小一点,例如50×50呢?
还需要注意其它问题吗?

用EEPROM的路过

xuexixuexi

学习了。

关于trim pad的大小,和测试pad一样大小就ok了,不必90*90,另外窗口的大小,design rule里应该有,可以和foundry沟通,不同的process的窗口是不一样的。

trim感觉还是挺有意思的

很好的一款软件,很好的结合实际情况

以前朋友说 eFuse 烧断电流 poly line 须 20~30ma 所以须要大元件
另个问题是 eFuse 有可靠度问题
有些 efuse 使用poly ...只开机 read 因为一直流电流会让 poly阻抗变化 .
metal efuse 则须要更高电流

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