谁知道tsmc工艺里面sh_p和sh_n层是什么？

shallow p , shallow n

谢谢！
我看rule，感觉
耐压 SH_P>HVPW>PW，SH_N>HVNW>NW。
不知道这个推论是否正确?
还有这个是外延生长的吗?还是注入的。

不清楚