为什么MOS电容在VGS为0时氧化层下仍有耗尽层?
时间:10-02
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为什么MOS电容在VGS为0时氧化层下仍有耗尽层?
因为是native管
有功函数差
栅极多晶硅或金属与衬底Si的功函数差、Si/SiO2的界面电荷和界面态等导致。功函数差的来源是材料的费米能级差,费米能及衡量材料中的电子"活力",两种材料中的电子“活力”不同,当短接两极时,更有“活力”的电子从一材料向另一材料扩散,并在扩走电子的位置留下正离子,则GOX对面的另一材料产生镜像电荷,于是产生空间电荷区。
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