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淀积与氧化

时间:10-02 整理:3721RD 点击:
我看到书上氧化层可以通过淀积形成,也可以直接进行氧化工艺得到。
请问这两种工艺有什么区别?
多谢各位!

cvd做出来的氧化层很松散,只是用来做隔离,干氧热生长的是栅氧。既然感兴趣,为何不找本书从头倒尾的看一下,基本知识还是必须掌握的

多谢。有没有什么书可以推荐一下?

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