FIB 修片
时间:10-02
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各位大侠:有做过FIB的吗?我们的片子感觉FIB给做坏啦,本来能出来功能,FIB后片子的原来对的功能都不对啦,有类似情况吗?
越高層的Metal,越不密集的區域,做FIB成功率比較高
挖壞了是常有的事
FIB廠商的好壞也會影響很大
挖坏了还可以修回来,只要舍得出钱
线密度高,层数低,坏的几率高。找设备精度高的做,成功率高。