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大神 帮忙解释下45nm_1P10M_6X1Y1Z1U 含义 没有文档

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大神 帮忙解释下45nm_1P10M_6X1Y1Z1U 含义 没有文档

45nm,特征尺寸
1P10M, 1 poly 10 metal
X Y Z U 都指的是厚度,比如说X是2倍M1厚度,Y是4倍M1厚度。
6X1Y1Z1U 指的是M2-M7是X的厚度,M8是Y的厚度,M9是Z的厚度,M10是U的厚度

z是8倍 u是16倍是么我这没有文档 多谢了

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