ibm13_8lm_2thick_3rf.tf 命名规则求教

现在准备使用ibm0.13工艺库，
现在看到这个ibm13_8lm_2thick_3rf.tf 技术库名
但是不懂具体含义
8lm应该是指8层金属层，听人说lm代表top metal为铝
2thick和3rf分别代表啥呢?

求达人解答一下
先谢过了！

关注中

如果你有designrule,里面应该有解释.8lm=8 layer metal, 2thick= top 2 layer thick metal; 3rf不知道是什么意思, 难道是射频?

thanks for sharing