有人用过光栅尺吗？求推荐

    至于机器运行过程中的摩擦升温，在做精密加工超牛的穆尔工具公司，他们以前设计的全球最精密的丝杆系统（给光栅刻划机用）是浸在油里的。

如果体积比较大的话，温度梯度怎么处理？
再有就是闭环温控的话，需要考虑温度梯度、输入功率、外界扰动之类的吗？

这个牛。如果有微探头阵列就好了。

    我做的东西比较简单，只要温度恒定就行，至于温度存在梯度倒是不需要考虑的。
    最主要的是要做好跟外界的隔离，剩下的恒温控制就很简单了，直接用温控器就可以实现了，我们用进口的温控器，一个4k多。

aside所说的误差应该是温度测量点的数据
如果放到全局，基本不可能。

是温度测量点的温度变化。
      单一系统全局是肯定无法达到这么高的恒温，只有局部能实现。
      但也提供了一种思路，那就是要框中有框，通过逐级恒温是有可能实现很高的恒温精度。我看国外一些超精密
加工车间也是这样设计的。

显微镜应该不行
分辨率基本是在波长量级就很好了

精度要求这么高，是什么东西？光刻机么？