有人用过光栅尺吗？求推荐
以前没用过类似的东西，不知道什么品牌的好。大家有用过的推荐一下吧，谢谢！
这要求真不低啊。。。
我最近在玩LVDT，要不要试试？
http://www.mouser.com/ds/2/261/HR_Series-267952.pdf
这东西驱动和信号调理比较麻烦，好处是可以做到完全无接触测量。
lvdt这个太高大上了吧？
针对lz这个，光栅尺买成品，北京机场顺义工业区那边有家中德合资的。
精密移动用丝杠行不行？
丝杠调头的话有回差，一个方向一直走可以
或者用弹簧把滑动块往一端拉紧。。不过这个行程长了点
100nm 确实有点高，XY方向可以降低到2um 精度，Z 方向有个x100的显微镜，景深非常的浅，还是希望能达到 100nm 精度。
XY方向 2um 精度的光栅尺是不是就比较多了？
另外还有个问题也挺头疼的，就是如何防止镜头撞到样品上，这个有没成熟的解决方案？我现在想在镜头上贴一圈很薄的压阻薄膜，靠感应电阻变化来停机。
回差不怕啊，有精密测量装置。
0.1um的精度是一个很恐怖的数据，而且是在200mm的行程上。
200mm的行程，0.1um的精度是个什么概念呢？
工业上最高等级的计量器具——双频激光干涉仪的精度也就1ppm，好点的0.5ppm，正好就是0.1um的精度，200mm的行程。这意味着光栅尺的精度都不够用，因为光栅尺就是用激光干涉仪做的标定。
我谨慎怀疑你用不到那么高的精度。
如果你非要前行，那么我推荐使用海德汉的光栅尺，但首先是他们有没有那么高精度的光栅尺，然后能不能卖给你。
回头再战双频激光干涉仪，你可以配一个激光尺做反馈，精度正好可以到你的要求，价钱大约十几万一个吧，不差钱可以考虑。
最后讨论你的机械结构，你居然还用丝杆做驱动？那是微米级别精度的东西，纵然你用带预压的滚珠丝杆，根据我长期的使用经验，很难保证没有间隙；而且当到了0.1um级别的精度，整个丝杆就像一个弹簧，向前进和向后退的推力差产生的弹性变形造成的间隙都差不多0.1um这个数量级。到了这个环节的精度，推荐使用直线电机。
你还要克服爬行效应，不知道你用什么导轨，机械滚动导轨够呛。。。。。。
看来指标提的太高了
即使有精密测量装置，不解决实际的机械问题，一样抓瞎。
回差再加上其他机械因素，尤其是爬行效应，很容易导致反馈系统的振荡
没用过，但是2M动态范围很难做到吧。
光删尺 用海德汉的 测量精度能达到
另外 这么高精度有点温度变化就超了。
这种场合肯定恒温啊。
看起来像是看芯片的
是不是可以用2套，分粗调和微调。
粗调底座先到mm级别的，固定，然后再微调。
估计他需要的不是绝对精度，而是类似分辨率或重复定位精度之类的
你这个设计有很大的问题。光栅尺是测量绝对位置的。常用的精度也就在1u，5u。你这个0.1u肯定做不到。
根据你的使用场景，你应该要的是精度而不是重复定位精度。也就是说是相对精度，而不是绝对精度。x，y方向可以用光栅尺，z方向应该直接从镜头反馈，类似单反对焦的原理。z方向的绝对高度没有意义，因为的样品每次都不一样高。另外，对于显微镜这种小设备，x，y方向用编码器比用光栅尺方便。
谢谢你的建议，我XY方向的定位精度可以降低到2um，因为要实现批量检测，也就是要看一系列相对位置精确确定的样品，所以这里的精度是重复定位精度，也就是从一个样品能够精确的走到另一个样品的位置。
Z 方向我准备做些实验来确定具体的精度。Z 方向的作用是使样品进入显微镜的景深范围内，以便后续自动对焦。
可见光最短才400nm，这个200nm的光栅尺怎么用啊？
z轴有多大行程啊？
通常微米级的用压电驱动
光栅尺一般是20um的间距， 通过电子细分来实现更加精细的测量。
用ADC采样？要先对光/电输出模拟量做标定和补偿吗？
推荐楼主仔细阅读附件的文章，并可以跟行业相关人士讨论
LA03-0055_Z-height_ZH-CN_HR.pdf
温度导致的热胀冷缩其实是小case，我最近设计的一个恒温箱体，很简单就轻松达到了正负0.05度的恒温状态（实际测量值是正负0.03度）。