请教InGaAs片子的清洗方法，多谢了！

时间：12-12 整理：3721RD 点击：

请教InGaAs片子的清洗方法，多谢了！
如果参照GaAs片子是否可以？三氯乙烯煮，丙酮，乙醇超声，吹干。可否？
多谢！

你的目的是啥？去native oxide还是纯cleaning？后者的话你说的就行，前者的话加上dhf和sulfide passivation。但愿你不是做三五transistor的，大坑不送。