请问刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄，是什么原因？
时间：12-12
整理：3721RD
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用投影式光刻，刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄，请问一般是什么原因？曝光显影不足吗？先谢了!
你说的可能性很大 建议刻蚀前sem测一下CD 如果没问题考虑下刻蚀条件