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关于多层数据光罩(MLM)服务

时间:12-12 整理:3721RD 点击:
版上朋友有用过多层数据光罩(MLM)流片的吗?
谢谢!

很常见啊,一般4和1,只是一般fab不给量产,跑一次over

嗯,了解,也就是纯验证,这个可以拿到整个wafer吧?价格是不是比一般工程批的价格便宜接近3/4啊?

如果是四层mask合为一层,那芯片的面积是不是不能超过最大曝光面积的1/4?比如曝光面积是22mmx22mm,则芯片尺寸不能超过11mmx11mm?

wafer贵好多,mask便宜
仅是pilot lot还是能便宜不少

你去跟fab做dry-run,他们会根据你的die size,给你一个reticle size,决定一个reticle能放多少die
reticle我记得挺大的,只要你的die size小于reticle size,就能放下

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