trap-rich是怎么回事儿？
时间：12-12
整理：3721RD
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现在看到有的SOI用trap-rich，对工艺不是很懂，请了解的朋友扫盲，谢谢。
Trap-Rich跟工艺没什么关系，是SOI wafer材料生长技术，SOItech公司的不传之秘。
主要用于解决SOI wafer中BOX层和handle wafer之间化学界面态导致的一些问题，比如
RF Switch/PA应用时的谐波、线性问题。
如果不用Trap-Rich wafer，解决这种问题的另外一个手段就是在工艺上入手，比如IBM
的BTQ；BTQ是IBM SOI应用于RF FEM(CSOI7RF)领域的最大法宝。