请问电子束光刻胶都有哪些？

请问刻蚀的话，一般是用什么方法？RIE，ICP还是别的方法？衬底是石英的话，请问什么地方有现成的气体配比吗？先谢了！

你要刻多深的槽？用电子束胶的话，想必不会太深。
RIE可以，但可能有点不够劲，有ICP的话上ICP吧，一般没有通用配气，不同设备调试出来，需要的气体流量和组分都可能有些差别。
石英是二氧化硅，刻栅氧化层一样的配置应该差不多
SF6做主力气体应该没问题，提高陡直度的话，可能需要配点氩气做物理辅助。
配比和设备功率你得根据实际形貌效果试试了。

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