版图设计里面的design rule是根据什么来确定的
时间:12-12
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比如已知曝光机的参数,如何来确定design rule呢?
那些width, space 和enclosure的尺寸都和什么相关呢?
那些width, space 和enclosure的尺寸都和什么相关呢?
每一条rule都是血的教训换来的,都是有具体的原因的
比如poly要延伸超过AA多少,是因为光学那个什么原理我忘记名字了,会使得方头变成圆头,所以如果不伸出AA一定距离,那么在管子头上那部分的gate length就会太小
比如gardring的一些rule,可以在相当程度上改善latchup
比如contact一般只允许一个尺寸,不许大来不许小,不然会影响yields
等等等等