通孔很多有关系吗?
时间:12-12
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集成电路里面中的一层要打入很多的通孔。 有影响吗? 如有影响,它的限度如何?
通孔能降低电阻,并且其冗余度有以利于reliability
DFM
降低接触电阻,并且降低因为通孔失效而产生的失效几率,提高成品率
via太多了也有工艺问题。
同一metal pitch的几层中,某一层via density比其他大很多会造成process drift(因为loading effect)。同一层中, 局部via density剧烈变化也有topography问题。这两个都可能降低成品率。