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在金属表面淀积SnO2,能形成欧姆接触吗?

时间:12-11 整理:3721RD 点击:
衬底上有金属层(例如铝),然后在金属层上沉积(例如溅射)一层
SnO2薄膜(作为透明导电玻璃)。希望金属和SnO2之间能形成欧姆接触,
也就是说,电流通过金属、SnO2要求功率损失最小,(如果不是欧姆接触
,电流通过接触界面的时候,功率损失就增加了吧),这个结构
是否要担心欧姆接触问题?如果铝难以和SnO2形成欧姆接触,铜、镍等
金属是否很容易形成欧姆接触?
这个问题也可以这么问:要从SnO2薄膜上把电流引出来,是不是与Al或其他
金属直接接触就可以了?还是要用什么特殊的方法才能实现欧姆接触?
非常感谢!

一般说来AL比铜和镍更容易与SIO2形成欧姆接触吧。

多谢多谢。请问老兄您说的是SnO2吧。什么道理呢?
是否需要高温烧结?

要不要高温烧结我不知道啊,不是搞这的。
对前面说的知识(AL比其他两者更容易形成欧姆接触)我可不能100%确认啊,只是有点
印象是这样的,
另外铜比AL的阻抗小,进入深亚微米时代就换铜制程了,工艺比AL复杂。至于镍好像没
听过用来与SIO2形成欧姆接触的,

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