MOS的模型文件中有场氧的厚度吗?
时间:12-11
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如有是什么名字?
谢谢
如有是什么名字?
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哦,看错了,那model里面不会用到场氧厚度的,如果fab提供工艺线的manual,或许能找到场氧的厚度。
哦,错了,这个是栅氧
.18工艺大多用STI了吧?
STI大概700~500nm的样子吧
记得不是很确切,但量级应该没错
在STI上面应该还会覆盖一层氧化层吧?
我关心场氧主要是看一下M1的寄生电容比栅电容小多少,应该有10倍以上的差距吧?可以忽略?