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问一个tox的问题

时间:12-11 整理:3721RD 点击:
看sansen的书, tox=Lmin/50,比如.35的tox大约就是7nm,请问这有什么理论根据吗?谢谢

L/tox差不多成正比,这是因为L scaling down的时候电源电压也降下来,
如果要维持差不多的Si表面电势,只有减薄tox。

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