02专项加速半导体产业链形成

——上海新阳半导体材料股份有限公司总工程师孙江燕

作为中国本土材料供应商我们切身感受到02专项在推动半导体产业发展、特别是促进中国半导体产业链形成过程中所发挥的巨大催化作用。

在实施02专项之前，中国的半导体产业链虽然已经存在，但非常弱小，没有形成产业发展的氛围。一些国家政策主要投放到集成电路设计业、制造业和硅材料产业，对相关的其他上下游产业链支持力度不大。特别是关键材料和成套设备产业发展举步维艰。以半导体材料业为例，在02专项实施之前，半导体所用工艺耗材(包括特种气体、高纯化学试剂、高纯铜互连电镀液和添加剂、CMP、光刻胶剥离液和清洗液等等)几乎100%进口，而且进口到中国的材料价格远远高于国际平均价格水平。在设备进口、工艺耗材进口、人力成本攀升的情况下，我们发展半导体产业是受制于人，没有竞争优势。

在这种情况下，一批在半导体产业从业多年的海外华人纷纷回国创建上下游产业。然而，成长很慢。究其原因：其一，这类产业技术门槛高，研发投入大；其二，客户认证评估周期长，评估成本高；其三，观念根深蒂固，很多半导体企业仅仅把材料设备产业当作供方对待，缺乏合作的动力，不愿冒风险，不给机会进入；其四，信息交流不充分，产业的需求与本土供应商的能力缺乏信息沟通渠道。这些都使半导体产业链发展缓慢，甚至半路夭折。

然而，02专项实施以后，国家给予集成电路产业具有实际意义的支持，不仅鼓励半导体FAB和封装工厂使用和评估国内的材料和设备，而且从整体布局考虑全面支持上下游企业，创造共同开发、合作共赢的理念，使材料和设备本土供应商与客户有机会、名正言顺地对等合作，形成了上下齐心共同打造产业链的合作产业氛围。同时，02专项抓住了中芯国际、长电科技、南通富士通等龙头企业，形成验证平台，有力地推动了产业链的融合和发展，加速了中国半导体产业链的健康成长。02专项对中国半导体产业链发展起到了重要作用，没有02专项的支持，我们这些依靠自主创新艰难起步的本土材料企业很难长大做强。

上海新阳在"十一五"期间作为子课题单位承担了高速全自动引线框架电镀生产线的攻关任务，并顺利提前完成任务，受到科技部和02专项实施管理办公室的表彰。"十二五"期间，我们又作为项目承担单位承担了"65nm-45nm芯片铜互连超高纯电镀液及添加剂研发和产业化"项目。我们一定珍惜这次机遇，保质保量地完成任务，为中国半导体产业链的形成贡献一份力量。