上市公司天龙光电联手华晟光电研发MOCVD

内地创业板上市公司天龙光电(300029)发布公告，江苏华盛天龙光电设备股份有限公司(以下简称"天龙光电"或"公司")与华晟光电设备(香港)有限公司(以下简称"华晟光电")于　　天龙光电(300029)是一家致力于新能源设备及其应用的创业板企业，目前的主要产品包括单晶生长炉、多晶铸锭炉、多线切割机、LED蓝宝石炉等，经过近5年来的发展，公司已经成为国内重要的新能源设备供应商。在今后3～5年内，公司在战略上将围绕光伏行业和LED行业这两大新能源产业的重要方向，致力于在这两个产业链上的设备研发、制造和应用。

　　华晟光电是由一批LED MOCVD领域的技术专家和管理人员共同创建，拥有创新的、具有自主知识产权的多项LED MOCVD技术，并且团队具有20多年所积累的世界一流大规模生产的半导体薄膜沉积设备的技术与经验。主要从事LED MOCVD设备、技术、外延工艺的研发、生产、市场经营与销售、及售后服务。　　根据该项目出具的可行性研究报告显示，合资公司MOCVD设备核心竞争力的开发战略为：

　　a) 降低芯片外延制造成本35% 以上

　　b) 提高外延大规模生产所需的设备的可靠性、稳定性、安全性和系统维护

　　c) 提供高性能芯片外延制成工艺

　　与Aixtron和Veeco相比，该MOCVD的系统单位产能可以提高30%以上。实时温度控制的多-独立加热元件电阻式加热器设计和垂直均匀分离喷淋式反应气体输送与分布喷头系统相结合，既可十分有效地提高外延片的良品率，又可解决目前Aixtron和Veeco设备在大规模生产中所存在的可靠性问题和减少系统维护与昂贵反应气体的消耗。

　　另外，该项目所采用的水平与垂直结合式气体排出技术，能降低杂质颗粒，提高外延片薄膜晶化的质量，既增加了良品率，同时也能减少昂贵反应气体的消耗。通过以上所述的降低设备和耗材成本的途径，公司MOCVD设备和消耗零部件的成本可降低30%以上。