高度集成的精密MEMS惯性传感器

Analog Devices, Inc. 最近在其iSensor运动传感器产品系列中新增两款高度集成的精密 MEMS（微机电系统）惯性传感器 ADIS16334和 ADIS16375，可以帮助工业和医疗设备制造商更轻松地实现运动捕获和控制功能。新款 IMU（惯性测量单元）实现了极高的精度和易用性，能够在工业过程控制和精密医疗仪器等各领域的设备中快速嵌入导航、跟踪、制导、仪表控制、平台稳定和其它六自由度检测功能。ADIS16334 相比上一代 IMU 体积缩小40%，针对高密度、空间受限的应用进行了优化；ADIS16375则是 ADI 公司目前性能最高的 IMU，陀螺仪稳定性达0.003o/s。

　　世上最紧凑的高性能IMU

　　ADI 公司 MEMS/传感器部 iSensor 业务开发经理 Bob Scannell 表示："对于许多设备设计人员来说，由于商用级惯性传感器的集成度和性能相对较低，要实现高性能运动检测非常困难。随着 iSensor IMU 阵营近期的进一步壮大，设计人员将能更加轻松地提高性能 – ADI 公司不仅推出了目前市场上最为紧凑的高性能 IMU，而且一如既往致力于实现卓越的环境耐受性和易用性，从而将手术工具导航等全新惯性应用在最短的时间内推向市场。"　　与其它大多数工业 IMU 不同，这两款器件不需要额外的集成、测试和校准。只需提供电源和业界标准 SPI 接口，这些器件就能迅速而轻松地提供准确的数据，即使在最具挑战性的环境下也同样如此。　　ADIS16375和 ADIS16334的主要特性和优势

　　ADI 公司的 iSensor IMU 产品系列已得到工业和医疗市场 OEM 设计人员的广泛采用。新产品ADIS16375和 ADIS16334是 ADI 公司第三代高性能 IMU，提供无与伦比的性能、特性组合和易用性，能够在严重振动、冲击和高温环境中有效工作。其主要特性如下：

　　-- 陀螺仪偏置稳定性为12度/小时，加速度计偏置稳定性为0.13 mg，从而使传感器稳定性提高一倍，简化了系统卡尔曼滤波并提高精度。　　

-- 带宽达330Hz，并且采样速率提高3倍，达到2,460 SPS（每秒采样），因而整体系统响应性能得以提高。　　-- 连续偏置估算、用户可选的抽取滤波器、用户可配置的 FIR 滤波器库以及 Δ θ 和 Δ 速度输出可提高系统集成度，降低系统设计的复杂性，并且缩短系统实现时间。

　　-- ADIS16334相比以前的 iSensor 器件体积缩小40%，是业界最为紧凑的精密 IMU 。其高度仅11mm，可节省应用空间，大大提高安装灵活性。

　　有关ADIS16375和ADIS16334 iSensor IMU 的更多信息　　ADIS16334和 ADIS16375 iSensor IMU 均为完整的惯性系统，内置一个±300°/s 动态范围的三轴陀螺仪和一个±18g (ADIS16375)或±5g (ADIS16334) 的三轴加速度计。每个集成传感器都实现了业界领先的 ADI 公司 iMEMS® 技术与信号调理技术的完美结合，可提供优化的动态性能。工厂校准优化了每个传感器的灵敏度、偏置、对准、温度和线性加速度稳定性等特性。因此，每个传感器都有的动态补偿公式，可在-40°C至+105°C的温度范围内提供精确的传感器测量。

　　所有必需的运动测试及校准都已纳入工厂生产过程，大大缩短了系统集成时间。所有传感器均经过严格的正交对准，可简化导航系统中的惯性坐标系对准。改进的 SPI 接口和寄存器结构可提供更快的数据收集速度和配置控制。