一种MEMS光开关测量平台的设计与实现

4 结语

测量悬臂和扭臂驱动的光开关的驱动电压是在制作微机械光开关过程中比较繁琐的程序，本测量平台采用单片机控制脉冲频率的方法来选择器件。与传统方法相比，具有精度高、可靠性强、成本低、易操作等优点。本测量平台经过吉林大学集成 光电子学国家重点联合实验室近半年的使用，系统稳定，效果良好，是一种省时高效的测量方法。