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离子注入技术的发展趋势及典型应用

时间:05-27 来源:互联网 点击:

3 结束语
21世纪微电子行业将走产业化道路,目前国内需求日益扩大。伴随着器件的发展,设备一定要跟上国际发展趋势,定好目标、打好基础,努力提高离子注入技术水平,为微电子行业产业化的后续发展提供技术支撑。

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