四点测球法在球坑自动检测中的应用

根据上述原理设计的四点测球坑传感器已用于自动测量仪中。对该传感器进行误差分析(另文发表),其球坑测量的理论不确定度为δR=±0·9μm。采用SR7·146 mm的标准球坑进行校准,经10次测量,得球坑半径的极限误差δlimR=±1μm,与理论计算吻合。

　　参考文献

　　[1]　张国雄,张德芬.四点法测量球心和球半径的最优方案[J].计量学报, 1993,14(4):247-250.

　　[2]　丁鸣忠.汽车空调压缩机活塞零件在线综合测试系统研究[D].上海:上海交通大学仪器工程系,1995.