双层氮化硅减反膜对多晶硅太阳能光伏电池的影响

对光增益占了次要位置，而且表面钝化的增强，所以总的来说双层氮化硅对多晶硅太阳电池有着积极的影响。

4结论

利用Centrotherm管式PECVD在多晶硅上生长出双层氮化硅，底层高折射率的氮化硅具有很好的表面钝化效果，可以增加电池的开路电压;高低折射率的匹配可以降低电池短波部分的反射率，提高电池的短路电流。批量试制实验表明双层氮化硅电池相比较单层氮化硅具有明显的优势，转化效率可以提高0.3%，另外双层氮化硅可以在同一工艺中进行，不增加任何工艺成本，方便于产业化。综上所述，双层氮化硅多晶硅电池前景颇好。