一种新型微小型继电器的介绍

性，外加电压产生体内电场致使压电材料产生形变(图6)。这种机制无静态功耗，但位移较小，所需材料比较特殊。

3 微电机系统(MEMS)

一般采用的工艺是基于微电子芯片制作工艺：甩胶、光刻、腐蚀、蒸发、溅射、电镀等。微电机系统制作的开关尺寸一般在微米数量级。在一片6 英寸大小的硅片上，可以制作出几千几万个单元。因此，每个单元的成本可以很低。然而，在最后封装成产品时，由于可动部分需要得到保护，使得封装成本较高。另外，虽微电机系统制作的开关往微观方向发展会使成本越来越低，但从应用的角度来看，一些对物理特性的要求会给尺寸带来极限限制。比如在继电器开关方面，应用市场在以触点切换电流来划分的话，1 安培以下占整个市场的25%,1 安培至2 安培占另外25%,其余占50%的市场。微型开关(毫米以下)可以切换小信号(毫安至百毫安级)，它们对接近1 安培及以上的电流切换就望尘莫及了。怎样利用微电子平面集成式工艺的优势制造出适合各种市场应用(包括切换1 安培及以上电流)的继电器开关就成为行业的巨大挑战和机遇。

4 新型微小型继电器

苏州磁明科技在这方面开辟了一条新的方向。

利用电子陶瓷多层层叠印刷的工艺， 他们成功地制造出世界上最小的电磁继电器(尺寸为6 ×5 ×2mm3 , 图7)， 其体积为目前世界上最小继电器的1/5.其体积虽小， 在功能方面它能达到比它大五倍的同类产品的主要指标， 见表1 所示。其载体及线圈是在微米厚的绝缘介质膜上通过打孔、印刷、烘干、层叠、压制等工艺整体制作而成的， 每批(15 平方厘米) 可以出近500 个， 其精度、效率和生产线灵活性可以大幅度提高。该产品在尺寸上已趋近半导体功率三极管的大小， 而在性能上保持了电磁继电器的特性(如小接触电阻、高耐压、控制与负载隔离等)。这给设计工程师在一些对体积密度要求高的应用中提供了一个全新的选择。该公司还在开发高频和阵列开关等几款新产品， 相信在其工艺的不断完善和市场不断开拓中， 更多更好的产品会带动本行业及相关行业提升到一个崭新的空间。