基于电流镜的微电容式传感器接口电路研究

与式(10)相符。当参考电容为Cref=200fF时，敏感电容Cs=190fF～150fF之间变化线性度好，其电容到电压转换的分辨率为100mV/10fF。该接口电路中也可以通过改变参考电容值的大小，以检测不同的敏感电容值。

4 结束语

针对微电容式传感器接口电路设计了一种基于电流镜原理的检测电路，电路利用CMOS工艺实现，将敏感电容变化的电容值转换为输出电压值的变化。通过仿真验证，结果表明本电路仿真结果与理论推导相符，其输出电压与敏感电容的线性度高，检测范围广，利于后期电路处理。