基于自动调焦显微视觉的MEMS运动测量技术

4 结 论

本文介绍了基于自动调焦显微视觉的MEMS动态测试系统的系统组成和关键测量技术。通过结合频闪成像、计算机视觉和自动调焦等技术，可以实现对MEMS器件的运动测量。并且使用了平面亚像素位移算法和粗精结合的自动调焦方法，加快测试过程，提高测量精度。验证性实验结果表明，平面亚像素位移算法的匹配精度可达1／50个像素，平面运动测量分辨率达到7．2 nmx 8．3 nm；自动调焦过程迅速，焦平面定位精确，离面运动测量分辨率达到O．1μm。