微机电系统与微细加工技术
时间：10-10
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3.微系统研究现状与展望
中国的MEMS研究始于1989年，在国家“八五”、“九五”计划期问，得到了国家自然科学基金委员会、科技部、教育部、中国科学院和总装备部的积极支持，经费总投入约为1.5亿人民币。经过十几年的发展，我国在多种微型传感器、微型执行器和若干微系统样机等方面已有一定的基础和技术储备，如清华大学、北京大学、中科院电子所、信息产业部电子 13所、南开大学、中科院上海冶金所、上海交通大学、复旦大学，上海大学、东南大学、浙江大学、中国科技大学、厦门大学、哈尔滨工业大学、中科院长春光机所、大连理工大学、沈阳仪器仪表工艺研究所、重庆大学、信息产业部电子24所、44所和26所、西安交通大学、航空618所、航天771所等。在微型惯性器件和惯性测量组合、机械量微型传感器和致动器、微流量器件和系统、生物传感器和生物芯片、微型机器人和微操作系统、体硅微制造工艺等方面已取得一定成果。现有的技术条件已初步形成MEMS设计、加工、封装、测试的一条龙体系，为保证我国的MEMS技术进一步发展提供了较好的平台。总之，面向MEMS微细加工技术作为一种高新技术在世界范围内得到了高度重视，它与纳米技术结合在一起，将对未来科技的发展带来革命性的影响。
中国的MEMS研究始于1989年，在国家“八五”、“九五”计划期问，得到了国家自然科学基金委员会、科技部、教育部、中国科学院和总装备部的积极支持，经费总投入约为1.5亿人民币。经过十几年的发展，我国在多种微型传感器、微型执行器和若干微系统样机等方面已有一定的基础和技术储备，如清华大学、北京大学、中科院电子所、信息产业部电子 13所、南开大学、中科院上海冶金所、上海交通大学、复旦大学，上海大学、东南大学、浙江大学、中国科技大学、厦门大学、哈尔滨工业大学、中科院长春光机所、大连理工大学、沈阳仪器仪表工艺研究所、重庆大学、信息产业部电子24所、44所和26所、西安交通大学、航空618所、航天771所等。在微型惯性器件和惯性测量组合、机械量微型传感器和致动器、微流量器件和系统、生物传感器和生物芯片、微型机器人和微操作系统、体硅微制造工艺等方面已取得一定成果。现有的技术条件已初步形成MEMS设计、加工、封装、测试的一条龙体系，为保证我国的MEMS技术进一步发展提供了较好的平台。总之，面向MEMS微细加工技术作为一种高新技术在世界范围内得到了高度重视，它与纳米技术结合在一起，将对未来科技的发展带来革命性的影响。
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