以北方华创为代表的“高端装备中国造”

如果说，" 没有IC制造就没有中国的IC产业"是成立的，那么"没有IC装备就没有中国的IC制造业"，也是顺理成章的。只可惜，目前的中国IC装备业与国际水平整体差距可不是一点点。不过，以北方华创为代表的国内设备商的持续努力，也让国人对"高端装备中国造"的信心与日俱增。整合优势资源，尽快加大体量。今年2月，"七星华创"与"北方微电子"正式合二为一，整合为"北方华创科技集团股份有限公司"，将"高端装备中国制造"的使命"据为己有"，已建立起国内覆盖领域最广、产品种类最多、建设规模最大、综合实力最强的高端装备供应平台。北方华创总经理赵晋荣说，"七星"与"北方微"的整合不仅没有流失客户，反而让客户增添了对北方华创的信心和信任。客户的订单，就是对北方华创最大的肯定。在国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺重大专项中，北方华创以绝对主力，相继完成了ETCH、PVD等工艺的验证和产业化，清洗机、氧化炉、LPCVD( 低气压化学气相沉积)、ALD(原子层沉积)和气体质量流量控制器(MFC)等多个项目，在获得政府科研项目资助同时，关键是多种高端集成电路的关键设备均批量进入了大生产线，并取得了良好的使用效果。赵晋荣介绍，目前，在IC制造领域北方华创拥有刻蚀机、PVD、单片退火设备、氧化炉、退火（合金）炉、LPCVD以及清洗机7类产品，已经全面在国内主流生产线上稳定量产。不过赵晋荣强调，我们在集成电路衍生市场取得的进步更为明显，如MEMS、功率半导体、化合物半导体、先进封装、LED照明、平板显示、光伏等市场领域的从无到有、从弱至强。在先进封装领域，北方华创刻蚀机和PVD设备在主要的先进封装厂已得到全面应用，在全球排名前三的WLCSP封装企业中，北方华创刻蚀机和PVD均是主力机台；在LED领域，北方华创刻蚀机、PVD和PECVD三类设备的市场占有率实现了多项全球第一独占鳌头；MEMS芯片制造用的深硅刻蚀设备以及金属刻蚀设备，已批量销往多家科研机构及生产线；在光伏领域，北方华创研发的国内首台应用于高效光伏电池生产的负压扩散炉，已经得到市场认可，光伏交钥匙工程还获得海外客户订单；北方华创作为国内首家进入TFT-LCD生产线的设备商，自主研发的Grind Cleaner、Indexer等设备均在主流客户端占据重要份额，所提供的设备在客户端的5、6、8.5、10.5代线上均稳定规模生产。重点发展刻蚀设备、PVD、CVD、清洗和扩散设备，在应用于集成电路制造的同时，着力在先进封装、LED、MEMS、光伏等市场领域取得"农村包围城市"的突破，这种与国际业者反向而行的发展策略，应该也是北方华创被迫的"明智选择"，这也是中国半导体设备企业取得里程碑式跨越发展的必由之路。赵晋荣认为，就目前现状而言， 我们在IC主流市场还只是个技术跟踪者，几乎不可能成为一个市场引领者，但在半导体周边市场，还是有国内集成电路高端工艺装备龙头企业话语权的，进而占据市场主导地位，如今已经成为现实。在泛半导体领域的快速推广应用，使北方华创有了更强的市场竞争力、更完善的客户服务体系和持续自主研发的实力。在集成电路领域从易到难的产品切入，也走了"农村包围城市"的路子，从8英寸到12英寸，从Hardmask到Al pad再到CuBS研发，从zero mark到STI再到poly刻蚀，从65nm到28nm再到14nm。目前，应用于14nm先进制程的多项核心设备已正式进入国际主流芯片厂工艺研发线。可以说，北方华创已挑起重担兑现"推进纲要"中所列的硬性指标。赵晋荣表示，在集成电路高端工艺装备市场，"近水楼台先得月"是北方华创独特的优势。北方华创的近邻——中国最大芯片代工厂中芯国际、中国最大的面板制造商京东方产线上诸多设备早期并不来自北方华创，但通过不断提供能够精准符合客户需求的卓越产品与优质服务，建立起产业链的上下游合作关系，就是北方华创发挥地域优势取得突破的所在。现在再去参观中芯国际12寸厂和京东方8.5代线的时候，可以看到成片的区域里，都充满了NAURA的标识。在左邻京东方8.5代线中，Grind Cleaner和Indexer设备正在24小时无间断运转；在右舍中芯国际12寸厂，北方华创数十台硅刻蚀设备、PVD、LPCVD、清洗机和氧化炉在生产线上量产。最近，北方华创收购Akrion相关资产，以达到与公司目前清洗设备品种实现较好互补之目的。北方华创很看重Akrion在精密清洗技术方面拥有多年技术积累和客户基础，因此，有了一定实力的北方华创，在国际市场出手也就不足为奇了。相信，今后发生在国内设备厂家身上的类似新闻，会越来越多。赵晋荣认为，国产高端装备要实现"量变"