爱国科学家齐发力 中国芯必将崛起

当华为的麒麟970芯片准备跟苹果的A11展开手机AI新时代争夺战时，很多人都在惊呼国产芯片进步的速度，然而却很少有人知道是一个海归中国人将中国的芯片制造能力缩短了三代距离。

华为麒麟970芯片不久前，央视报道了这样的一则消息，中微半导体设备公司将在今年年底正式敲定5nm刻蚀机！而刚刚发布的苹果A11芯片以及华为的麒麟970均是使用10nm工艺。当所有的巨头还在为10nm，7nm技术大肆进军的时候，中国中微正式宣布掌握5nm技术，让对手措手不及，难以置信！原来一直在这一领域没有任何话语权的中国内地半导体企业能够弯道超车！

已年过七旬的尹志尧看起来依然年轻而在中微这个隐形的巨人背后，如今已年过七旬的尹志尧就是那个点燃星火的人。

坐拥60多项专利 它是掌握西方芯片核心科技的技术狂人

在美国硅谷从事半导体行业20多年的尹志尧，曾任AppliedMaterials应用材料公司的副总裁。91年，尹志尧来到应用材料公司，负责同一领域的研究开发工作，先后获得了60多个美国和国外的专利。尹志尧开发或参与开发的产品，现在在这个领域大概占了全世界的50％。另外，还帮助成立了硅谷中国工程师协会，并担任了头两任的主席。被誉为硅谷最有成就的华人之一。

尹志尧曾被认为是硅谷最成功的华人代表

考虑到给外国人做嫁衣，已经做了很多事情了，高新技术的本土化成为了他创业的初衷。2004年尹志尧回国创办中微半导体时已经60岁，当时的出租车司机说他只有38岁，他说太好了，以后自己就是38岁的人。他一直保持着年轻人的活力，一天工作超过16个小时成为家常便饭。这位先后在硅谷英特尔、LAM、应用材料三家公司工作逾20年，继而回国创业将近10年的古稀老人依然奋战在研发一线。中微半导体设备有限公司CEO尹志尧30年间见证了中西集成电路发展的兴荣。国产芯片制造工艺整整落后巨头三代如果说在工业化时代，钢铁是工业的"粮食"，那么在如今的信息化时代，"芯片"则就是现代工业的"粮食"。中国的芯片行业一直流传着这样一句话，除了水和空气以外，其它全是从国外进口的。即便是能够自主设计顶级麒麟芯片的华为，其也要让中国台湾企业台积电代工！因为在中国内地，绝大多数半导体公司目前仅掌握着生产40nm和28nm规格的技术。跟当今世界上最高规格的10 nm半导体技术整整差了三代！台积电虽然已经到中国大陆投资设厂，但按照台湾方面的要求，台积电大陆工厂的技术必须落后台湾三代。因此，可以说，中国芯片制造「痛之久已」。

毫无疑问，一直以来，中国的半导体技术在市场上是完全没有竞争力的！但是不攻占这一领域，中国永远谈不上制造强国。核心技术上一旦长期受制于人，那么大量的利润，以及市场的话语权都会给别人占据！研究显示，2015-2020年中国半导体芯片产业投资额将达到650亿美元，其中芯片制造设备投资额就将达到500亿美元。但是中国芯片制造设备的95%都是依赖于进口，也就是说需要花480亿到国外购买设备。这也使得中国芯片制造设备的国产化成为了一件非常迫切的事情。毅然回国 填补国产芯片制造领域空白13年前（2004年），当时已经60岁的尹志尧放弃了美国的百万年薪，带领三十多人的团队，冲破美国政府的层层审查（所有人都承诺不把美国的技术带回中国，包括所有工艺配方、设计图纸，一切从零开始），回国创办了中微半导体（以下简称中微），他要在芯片制造设备领域与国际巨头直接竞争，取得一席之地。尹志尧带着30多人的团队回到中国，只因为一句话：「学成只为他日归来，报效祖国」。

一切从零开始，凭着过去20多年的经验和基础技术支持，尹志尧和他的团队很快就开发出了第一台国产的生产半导体芯片的设备——等离子体刻蚀机。

等离子体刻蚀机是芯片加工的关键设备等离子体刻蚀机是在芯片上进行微观雕刻，刻出又细又深的接触孔或者线条，每个线条和深孔的加工精度是头发丝直径的几千分之一到上万分之一。"在米粒上刻字的微雕技艺上，一般能刻200个字已经是极限，而我们的等离子刻蚀机在芯片上的加工工艺，相当于可以在米粒上刻10亿个字的水平。"尹志尧这样形容到。

70多岁高龄的尹志尧依然奋战在研发一线据介绍，一个16nm的微观逻辑器件有60多层微观结构，要经过1000多个工艺步骤，要攻克上万个技术细节才能加工出来。只看等离子体刻蚀这个关键步骤，它的加工尺度为普通人头发丝的五千分之一，加工的精度和重复性要达到五万分之一。中微在刚刚涉足IC芯片介质刻蚀设备时，就推出了65nm等离子介质刻蚀机产品，随着技术