国产8英寸研发中试线工艺能力布局

9月10日，在亚洲最高规格的传感器与物联网行业盛会——2017中国（上海）国际传感器技术与应用展览会（简称"SENSOR CHINA"）的开幕式暨2017全球传感器与物联网产业峰会上，多位院士及众多业界领袖济济一堂，中国科协副主席、中国科学院院士王曦，工信部原副部长杨学山，国家集成电路产业投资基金总经理、中国高端芯片联盟理事长丁文武，工信部电子司副司长吴胜武，上海科学技术委员会主任寿子琪，上海市嘉定区委书记马春雷共同启动上海微技术工业研究院"超越摩尔"研发中试线运营。自此，由上海微技术工业研究院（以下简称"工研院"）构建的国内首条，全球领先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式向业界发声，在打造中国完整的"超越摩尔"产业链基础上，旨在进一步推动中国"超越摩尔"技术和物联网创新应用快速发展，引领全球。

图1 工研院"超越摩尔" 8英寸研发中试线剪彩仪式完善国内超越摩尔产业生态链布局，8英寸研发中试线助攻创新研发当前，以移动互联网、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的信息技术正加速创新、融合和普及应用，一个万物互联智能化时代正在到来。其中，超越摩尔技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的基础性、决定性核心技术之一。事实上，传感器的市场应用已呈现爆发式增长态势，产品种类丰富，多达上千，此前美国举行的MEMS Bryzek预测MEMS芯片市场将在2023年达到1兆片（trillion）的市场规模，同时，中国智能传感器市场也预计将于2019年达到960亿元。然而，纵观我国超越摩尔领域现状，虽经历多年的理论研究与技术验证，积累了大量宝贵的知识和经验，但在真正放进产品进行实际应用时往往存在与生产平台脱节的情况。这都是源于MEMS产品的研发所涉及的技术链条较长，且其"非标"特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期，不同于CMOS的标准工艺，可以说对产线"严重依赖"。而中试就是必经阶段，是目前国内传感器厂家共同面临的挑战，据统计，科技成果经过中试，产业化成功率可达80%，未经中试成功率仅有30%。基于此背景，工研院立足拥有国内一流集成电路研发和产业基础的上海，志在实施超越摩尔计划，争取在这一领域与国际领先水平并行。落地上海嘉定工业区，近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房内，工研院与国际领先的晶圆厂密切合作构建的8英寸"超越摩尔"研发中试线，不仅实现了从研发到量产的无缝衔接，更丰富完整了国内的超越摩尔生态链，是对标国际产业竞争的关键一环。

图2 SITRI 8英寸研发中试线工艺能力布局图目前，在"超越摩尔"领域，相比于业界普遍使用的6英寸产线，贯通从研发到量产全程服务的SITRI 8英寸线是公认的领先技术。据悉，8英寸研发中试线将专注于"超越摩尔"传感器产品技术的开发，可以全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发，并根据"超越摩尔"产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内第一条先进8英寸研发中试线，SITRI的8英寸研发中试线不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率，更将助力实现 "超越摩尔"产品和技术从研发到量产的无缝衔接。工研院一体化功能平台将加速"超越摩尔"领域的创新和产业化进程

图3 SITRI致力于打造"超越摩尔"产业创新生态以全球领先的"超越摩尔"8英寸研发中试线为支点，工研院试图打造集研发、工程、市尝孵化的一体化功能平台，为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案： - 在研发创新环节：工研院建立了全国首个成熟、完善的MEMS-IC软件设计平台、开发MEMS-ICIP核库；近5000平方米的先进"超越摩尔"研发8英寸研发中试线更将专注于新工艺、新材料及新器件的开发与整合；同时提供集成电路设计、系统集成及以及完整物联网系统解决设计方案；- 在中试制造环节：工研院建立全球领先8英寸MtM研发中试线、世界先进的工程测试分析平台、MEMS/ASIC的晶圆测试、封装测试等测试能力；提供完整的专利及器件分析、研究服务，并提供知识产权许可、保护及谈判方面的专家级指导；- 在产业整合领域：工研院将进一步推动例如汽车电子、智慧医疗、智能安防、智能家居、智能消费类产品等细分物联网市场与传感产业进行垂直产业链与横向服务市场的整合，推进相关产业的快速发展；发起并参与例如中国传感器与物联网产业联盟，"超越摩尔"产业技术创新联盟等产业联盟，更将推