干货：有关MEMS的最详细介绍
时间：05-08
来源：知乎
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高触点两端电压时，吸引力增加，引起悬臂梁向另一个触电移动，当移动至总行程的1/3时，
图20. MEMS开关断合示意图
生物试验类
MEMS器件由于其尺寸接近生物细胞，因此可以直接对其进行操作。
图21. MEMS操作细胞示意图
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