MEMS传感器百花齐放，哪些是未来的主流？

他认为CMOS与MEMS集能带来诸多优势，"集成带来SoC级别的设计和架构，集成会带来更低量产成本，集成会在EMI与寄生性能等方面带来更高的性能。"下图，是他分享的一些CMOS-MEMS集成的工艺。

　　图 ：一些 CMOS-MEMS集成的工艺

　　［　图：SMIC目前和未来将能提供的各种工艺。/center］

　　［center］图：SMIC在MEMS传感品上的演进图，今年已可以量产硅麦与一些运动传感器包括9轴传感器；预计明年可以生产压力传感器，而未来将向高端的RF MEMS、各种生物传感器、微投传感器等迈进。